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现代机电一体化技术丛书 微机电系统及工程应用
莫锦秋，梁庆华，王石刚编著2015 年出版192 页ISBN：9787122238832本书主要从普及的角度介绍了微机电系统及其相关技术的应用。全书共12章，分别对微机电系统的定义、起源及研究现状、制造技术、系统构成、设计技术进行了深入浅出、通俗易懂的介绍。本书的特点是信息量大、系...
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