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基于MEMS技术的硅脉象传感与检测系统的研究
王璐著2013 年出版273 页ISBN:9787811295009本书介绍了采用MEMS技术、CMOS工艺和激光加工技术,设计并制作硅杯和悬臂梁两种结构的以纳米硅/单晶硅异质结为源极和漏极的MOSFETs脉象传感器的方法,阐述了纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象检测系统的制作方法...
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车辆、航海、航空、航天运载工具电力系统
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