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薄膜材料科学 第2版
(英)奥林著2006 年出版794 页ISBN:7506282070本书详细介绍了涉及薄膜材料科学的各个方面,内容包括真空技术、薄膜沉积技术与原子过程、薄膜的结构与性能表征等。本书内容广泛,资料全面,各章后面附有习题,是一本真正意义上的薄膜科学与技术的教科书。...
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