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金属有机化合物气相外延基础及应用
陆大成,段树坤著2009 年出版363 页ISBN:9787030238450本书是国内第一本全面系统地介绍金属有机化合物气相外延(MOVPE)的专著。本书共10章:第1章概述;第2章生长系统;第3章原材料;第4章MOVPE生长热力学和反应动力学;第5章MOVPE反应室内的输运现象与模型化;第6章MOVPE中的...
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