微传感器、微机电系统和灵巧器件

微传感器、微机电系统（MEMS，micro-electro-mechanical systems）正在对半导体工业产生革命性的作用。微系统（system-on-a-chip）将微电子电路和微执行器结合在一起，形成有广泛应用领域的新的研究热点。本书系统介绍...

微机电技术

电子封装、微机电与微系统

本书共分三篇，第一篇介绍了电子封装技术的概念、材料、主要工艺、封装可靠性、点连接以及封装存在的问题；第二篇介绍了微机电技术的概念、主要封装技术和典型器件的封装方法；第三篇基于前两篇介绍了SOC、SIP和...

微机电技术

本书系统地介绍了微机电技术基本内容、分析方法和主要内容，包括微机电系统概述、材料、工艺、典型器件、应用，RF MEMS及重构天线，MEME力学问题等。本书可供高年级本科生和研究生使用，也可作为相关工程技术人员...

微机电系统和微结构及其在航天中的应用

本书是由十几位知名教授根据他们在微机电系统技术及其在航天领域应用方面多年的研究成果总结共同完成的专著。其内容主要涵盖了微机电系统技术本身、微机械结构、器件（部件）和系统在航天领域应用中需要特别考...

微计算机控制机电设备集锦 原理与实例

本书通过对步进电机、洗衣机、电梯、车床、铣床等控制实例的分析

纳米技术手册 第2册 微纳机电系统和生物微纳机电系统

Bharat Bhushan博士在1971年获得麻省理工大学机械工程学硕士学位；分别于1973年1976年和1980年获得博尔德科罗拉多大学的力学硕士、机械工程学博士和纽约特洛伊伦斯勒理工学院工商管理硕士；在1990年获得挪威特...

微机电耦合动力学

本书综合运用连续体动力学、静电学、流体动力学等理论，建立了单微梁、双微梁及微板的机电耦合动力学模型，考虑静电力的非线性以及机电耦合因素，对静电力作用下微构件的自由振动、在简谐激励作用下的受迫振动、...

泛结构化微机电系统集成设计方法

本书提出和建立了泛结构化微机电系统集成设计方法，系统性地论述了其理论体系和关键技术。本方法是在对当前微机电系统集成设计工具的体系结构、基础理论、关键技术及发展趋势等方面进行归纳和总结的基础上，提...

执行器技术：微机电方法 影印版

执行器是将电能转换成机械能的装置，通常用于电气、气动、液压系统。由于执行器技术在生物医学、人工器官修复、器械矫形中应用的需要，对高效且具有微纳米尺寸级别的复杂精密机械产品的需要不断增长。本书对执...