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    赵玉玮,陈美智编译1987 年出版254 页ISBN:7030000048

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    中国北车股份有限公司编写2015 年出版199 页ISBN:9787113200008

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    铁道部科学技术情报研究所1940 年出版60 页ISBN:

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    (美)夸克,(美)瑟达著2015 年出版600 页ISBN:9787121260834

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    (美)迈克尔·夸克,朱利安·瑟达著2009 年出版600 页ISBN:9787121089442

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    吴启迪等著2006 年出版250 页ISBN:7121031914

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  • 导体微系统制造技术

    刘斌主编2017 年出版224 页ISBN:9787111502685

    本书根据微电子机械系统的发展趋势,主要介绍了常用的微系统制作工艺,并加入了部分超大规模集成电路工艺。本书在微电子制造技术的基础上主要包括了MEMS及微系统常用材料、硅的各向同性腐蚀、阳极腐蚀、硅的各...

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    本书是一本导体工艺技术的优秀教材,并不强调很深的理论和数学知识,而是重点关注导体关键加工技术概念的理解。全书共分15章,包括:导体技术导论,集成电路工艺导论,导体基础知识,晶圆制造、外延和衬底加......

  • 导体集成电路制造技术

    张亚非(等)编著2006 年出版390 页ISBN:7040182998

    导体集成电路发展到今天已经形成一个重大产业,本书主要讲述导体集成电路产业的制造技术,既有基本原理和工艺技术的阐述,也有国内外近期发展状况介绍。根据导体集成电路器件的基本原理和内部结构以及设计...

  • 导体制造技术

    (美)Michael Quirk,(美)Julian Serda著;韩郑生等译2004 年出版600 页ISBN:7505394932

    导体领域,技术的变化遵循着摩尔定律的快速节奏,是以月而不是以年为单位计的。本书详细追述了导体发展的历史并吸收了当今最新技术资料,学术界和工业界都称赞这是一本目前在市场上能得到的最全面、最先进...

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