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半导体微系统制造技术
刘斌主编2017 年出版224 页ISBN：9787111502685本书根据微电子机械系统的发展趋势，主要介绍了常用的微系统制作工艺，并加入了部分超大规模集成电路工艺。本书在微电子制造技术的基础上主要包括了MEMS及微系统常用材料、硅的各向同性腐蚀、阳极腐蚀、硅的各...
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半导体制造技术导论 第2版
HongXiao（萧宏）2013 年出版460 页ISBN：9787121188503本书是一本半导体工艺技术的优秀教材，并不强调很深的理论和数学知识，而是重点关注半导体关键加工技术概念的理解。全书共分15章，包括：半导体技术导论，集成电路工艺导论，半导体基础知识，晶圆制造、外延和衬底加......
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半导体集成电路制造技术
张亚非（等）编著2006 年出版390 页ISBN：7040182998半导体集成电路发展到今天已经形成一个重大产业，本书主要讲述半导体集成电路产业的制造技术，既有基本原理和工艺技术的阐述，也有国内外近期发展状况介绍。根据半导体集成电路器件的基本原理和内部结构以及设计...
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半导体封装测试制造系统运行优化理论与技术
倪妍婷著2017 年出版173 页ISBN：9787307190344本书从系统化、协同化的角度构建适合半导体封装测试生产自身特点的协同体系结构，运用分布式人工智能技术中的多智能体对该系统进行模块化封装，对生产计划与调度中的具体问题进行建模，研究生产协同过程中的关键...
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半导体制造技术 英文版
（美）夸克（Quirk，M.）等著2006 年出版666 页ISBN：7121027100在半导体领域，技术的变化遵循着摩尔定律的快速节奏，是以月而不是以年为单位计的。本书详细追述了半导体发展的历史并吸收了当今最新技术资料，学术界和工业界都称赞这是一本目前在市场上能得到的最全面、最先进...
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半导体制造中的质量可靠性与创新
简维廷，（美）郭位，张启华编2016 年出版271 页ISBN：9787121282461本书主要介绍的是集成电路行业质量与可靠性一些管理的方法和工程的实用技巧。全书共4章。第1章是绪论；第2章主要介绍质量管理与工程及其创新；第3章主要介绍可靠性工程与管理及其创新；第4章则主要是介绍失效分...