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用于恶劣环境的碳化硅微机电系统
RebeccaCheu著2010 年出版121 页ISBN：9787030268624碳化硅MEMS在航空、航天、矿业、石油、地质、汽车等领域都有着不可替代的作用。因为碳化硅圆片制作的复杂性，以及应用碳化硅的器件工艺难度高，而成为尖端领域。目前国外有一些研究机构积累了大量的技术和经验...
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