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先进干涉检测技术与应用
杨甬英2017 年出版390 页ISBN：9787308171090先进干涉检测技术是将经典的干涉系统与当前各种新颖的光电子器件及机电系统、高速发展的计算机技术紧密结合，从而实现目标信息多参数三维空间高精度检测的综合性技术。其在国防及国民经济、微电子、材料及生...
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