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无驱动结构微机械陀螺及其应用
张福学,张伟著2013 年出版424 页ISBN:9787118089059本书共四篇,第1篇共5章,主要介绍无驱动结构转子型振动陀螺仪的数学模型、精度、性能、运行误差和实验研究。第2篇共6章,主要介绍微电子机械系统的电子材料及其加工处理;MEMS用材料及其制备;标准微电子工艺;硅体的...
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