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纳米科学与技术 微纳加工及在纳米材料与器件研究中的作用
顾长志等编著2015 年出版353 页ISBN:9787030428264《纳米科学与技术》围绕国家在纳米科技领域的整体布局,紧密结合国家纳米科技重大专项为代表的国家在纳米技术领域的重大、重点项目,论述了纳米科技在纳米生物与医药、纳米结构分析测试与标准、纳米材料制备与...
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微纳加工及在纳米材料与器件研究中的应用
顾长志等编著2013 年出版353 页ISBN:9787030378255本书共分十二章,第1-8章分类介绍了几种主要的微纳加工技术,包括:光学曝光、电子束曝光技术、聚焦离子束加工技术、激光加工技术、纳米压印技术、离子束技术、薄膜技术和自组装加工,即简要概述了各种加工方法的科...
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