电子束曝光微纳加工技术

本书作者长期从事电子束曝光技术的研究和装备的研制，积累了丰富的经验。本书系统地介绍了电子束曝光技术的发展历史和原理、系统的组成和分类、应用和发展前景，同时，详细介绍了多种先进的电子束曝光机的性能和...

micro-nanorobotic manipulation systems and their applications = 微纳机器人操控系统及其应用

微纳尺度通道流动理论及应用

本书介绍了微纳尺度通道流动研究的理论价值和实际应用意义；分析了用于微纳尺度通道流场研究的基本方程-Burnett方程及其该方程的稳定性特征；探讨了微纳尺度下典型流场的Couette流和Poiseuille流的流动特征和...

纳米科技与微纳制造研究 技术路线图

从国内外纳米科技发展现状和上海纳米科技发展必要性入手，详细解读了上海纳米科技未来发展战略，提出了上海纳米科技发展关键体系建设内容的建议，描绘了上海纳米科技发展战略实施蓝图。一方面，上海在纳米科技发展...

老科学家学术成长资料采集工程丛书 微纳世界中国芯 李志坚传

本书是老科学家学术成长资料采集工程的一种，对传主一生的学术成长、学术成就、学术贡献进行了全方位的采集整理，对国家科学技术发展史的研究、近现代科技史的研究和国家科技政策及科技战略均有较大的参考研究...

功能新材料及生命体中的微纳结构

微纳结构是生命体共有的、基本的最小基元。本书从不同角度，展示了微纳技术在生命科学领域的应用进展。内容涉及许多专利性质的方法、实验技巧，是作者多年从事科研事业的结晶。巧用Phase信息研究生命体中的微...

飞秒激光固体材料表面微纳结构制备及其功能特性

主要内容包括：开展了飞秒激光诱导金属表面亚波长周期性条纹结构、飞秒激光诱导硅表面微纳结构及其光学特性以及飞秒激光金属表面着色技术等方面的研究。进一步，利用飞秒激光制备出宽光波段高吸收“黑金属”，并...

水中病原微生物微纳检测技术

本书对欧洲一个大型研究项目及其主要研究团队的研发成果进行了介绍。该书涉及的知识和专业内容有助于水中病原微生物检测过程中各项单独技术的创新与集成。样品采集、细胞裂解、DNA/RNA提取、微纳传感器检...

全柔顺并联机构理论 空间微纳尺度超精密定位系统研究

本书拟采用新型全柔顺并联支撑机构，基于螺旋理论及空间拓扑优化设计方法，对支撑机构空间构型进行综合与参数优化设计；采用多柔体弹性动力学理论，建立空间超精密定位系统弹性振动微分运动方程，探寻具有非线性时滞...

基于新型微纳减反结构的硅基太阳能电池研究

氢化纳米晶硅薄膜太阳能电池正逐渐成为研究的热点。本书研究通过实验和仿真研究，利用纳米晶硅薄膜生长机理设计微纳减反结构，建立了相关光学几何研究模型，探明纳米复合薄膜减反射的机理。制备出两种新型微纳减...