北京市首都公路发展集团有限公司 高速公路机电系统设备维护维修预算定额（试行）

微机电系统（MEMS）制造技术

微机电系统技术是一门融合了微电子技术、微机械加工技术、微光学等多种现代信息技术的新兴、交叉学科，它的发展将对21世纪的人类生产和生活方式产生重要影响，并在未来高科技竞争中起到举足轻重的作用。用于实...

现代机电一体化技术丛书 微机电系统及工程应用

本书主要从普及的角度介绍了微机电系统及其相关技术的应用。全书共12章，分别对微机电系统的定义、起源及研究现状、制造技术、系统构成、设计技术进行了深入浅出、通俗易懂的介绍。本书的特点是信息量大、系...

微机电系统基础

相对于人们对涉及的非传统物理的理解，MEMS技术发展得非常快。只有深刻掌握其基本原理，才能促进MEMS技术的提高，才有可能进行微机电系统的设计和制造，并让其在现有的和设想的各个领域广泛应用。本书是MEMS手册中...

用于恶劣环境的碳化硅微机电系统

碳化硅MEMS在航空、航天、矿业、石油、地质、汽车等领域都有着不可替代的作用。因为碳化硅圆片制作的复杂性，以及应用碳化硅的器件工艺难度高，而成为尖端领域。目前国外有一些研究机构积累了大量的技术和经验...

动态微机电系统 理论与应用

当前MEMS制造工艺技术较丰富成熟，出版的教材专著较多，然而MEMS的设计理论发展远滞后于制造技术。动态MEMS设计理论成为本专业领域技术人员和初级研究者所迫切想了解的学科前沿技术。本专著以动态MEMS设计理论...

微机电系统设计与激光

本套书内容涵盖机械常规设计、机电一体化设计与机电控制、现代设计方法及其应用等内容。具有系统全面、信息量大、内容现代、凸显创新、实用可靠、简明便查、便于携带和翻阅等特色。各分册分别为：《常用设计...

城市微光

微光与红外成像技术

光电微光摄影技术