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高磁晶各向异性磁记录薄膜材料
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薄膜体声波谐振器的原理、设计与应用
张亚非，陈达著2011 年出版174 页ISBN：9787313065162本书详细介绍了FBAR谐振器模型所需的基本理论、设计原则、制备技术和应用方法等，包括薄膜体声波谐振器的理论模型、压电薄膜的制备方法、AlN薄膜的溅射沉积和刻蚀、横膈膜型薄膜体声波谐振器、固体装配型体...
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