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西安电力高等专科学校，殷树德编1995 年出版257 页ISBN：7120023667
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傅建中，胡旭晓编著2005 年出版224 页ISBN：7111157826
本书介绍了微系统设计，微制造，微系统检测等。
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（苏）罗姆勃洛（Ромбро，В.С.），（苏）法尔伯尔著；戈风译1985 年出版104 页ISBN：15045总3011有5408
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（美）W.G. 特纳著；李剑华译1992 年出版386 页ISBN：15062·3870
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（日）松本吉弘编；李兴烈译1985 年出版296 页ISBN：15062·4176
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刘长林著（上海大学文学院）1990 年出版607 页ISBN：7500405510
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天津大学，刘家松1980 年出版482 页ISBN：N15034（四教52）
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中国科学技术情报研究所1977 年出版347 页ISBN：15176·233
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（日）有本卓等著；卢伯英译1982 年出版309 页ISBN：15031·423
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（美）高锟著；粱郭泰等译校1987 年出版259 页ISBN：15309·6
