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SolidWorks机械设计实用教程
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孙以材,庞冬青编著2009 年出版194 页ISBN:9787502447946本书介绍微电子机械加工(MEMS)技术基础,详细介绍了电学、热血和力学有限元方法的要领,相关软件的使用及硅片的加工处理方法等。
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