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新型半导体薄膜材料的制备与光电特性
陈光华著2004 年出版377 页ISBN：7311023734本论文集包括了作者25年来对非晶半导体和薄膜物理方面的研究内容和方法，同时也反映出作者对这个领域的认识过程和研究思路以及取得的成果。...
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材料科学与技术丛书 第16卷 半导体工艺
（美）K.A.杰克逊（Kenneth A.Jackson）主编；屠海令，万群等译校1999 年出版627 页ISBN：703007260X暂缺《半导体工艺》简介
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