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纳米集成电路制造工艺
张汝京编著2017 年出版471 页ISBN：9787302452331本书共分19章，涵盖先进集成电路工艺的发展史，集成电路制造流程、介电薄膜、金属化、光刻、刻蚀、表面清洁与湿法刻蚀、掺杂、化学机械平坦化，器件参数与工艺相关性，DFM（Design for Manufacturing），集成电路检测与...
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超大规模集成电路：基础·设计·制造工艺
（日）电子信息通信学会组编；岩田穆，角南英夫著；彭军译2008 年出版309 页ISBN：9787030202789本书共分两篇，第一篇为基础设计篇，主要介绍VLSI的特征及作用、VLSI的设计、逻辑电路、逻辑VLSI、半导体存储器、模拟VLSI、VLSI的设计法与构成法、VLSI的实验等；第二篇为制造工艺篇，主要介绍集成工艺、平板印刷...
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