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微光学和纳米光学制造技术
（美）凯米编著；周海宪，程云芳译2012 年出版196 页ISBN：9787111394488本书详细介绍了微米光学和纳米光学元件成功的、最新的制造工艺，重点强调了关键性的专业技巧，提供了最新的技术信息，内容包括：面浮雕衍射光学元件、微光学等离子体刻蚀加工技术、使用相位光栅掩模板的模拟光刻术...
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国际制造业先进技术译丛 微制造与纳米技术
（印）N.P.马哈里（N.P.Mahalik）等著；蔡艳，吴毅雄，冯凯等译2015 年出版390 页ISBN：9787111503576本书主要介绍了微机电系统（MEMS）、微光机电系统（MOEMS）、激光技术在微制造中的应用、平版印刷术、体和表面微加工、纳米修整、误差补偿、碳纳米管、微能源化学系统、燃料电池、空间推进微结构、生物传感器等内...
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国际制造业先进技术译丛 微米加工与纳米制造
（美）马克J.杰克逊（MARKJ.JACKSON）主编；缪旻，李振松译；郝一龙，金玉丰审2016 年出版375 页ISBN：9787111514824本书是微米/纳米加工技术方面的一本优秀著作，既有一定的理论深度，又有足够的广度，而且还有较高的可读性。它较为系统地梳理了微米加工（特别是非硅基加工）技术以及纳米加工手段，结合微流体、微惯性器件、纳米传......
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纳米制造手册 导读版 英文
GaryWiederrecht著2011 年出版296 页ISBN：9787030306180现代工业使用的众多器件和系统变得越来越小，有的达到纳米尺寸级别。纳米制造的目标在于构建大量高效低成本的用在组件、器件和系统中的纳米结构。纳米制造是所有纳米技术领域的关键所在，特别是纳米技术在传统...
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面向可持续制造的纳米技术
（英）大卫·里克白（DAVIDRICKERBY）主编；曹峥译2016 年出版250 页ISBN：9787111519546本书通过弥合学术界研究和工业界之间的差距，对面向可持续制造的纳米技术进行了详细的介绍。书中对纳米技术在多个领域中的最新进展进行了综述，包括电子、农业食品、航天、纸浆和纸的制造、电池、催化剂、太阳...
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微纳米制造技术及应用
张德远，蒋永刚，陈华伟，秦威等编著2015 年出版252 页ISBN：9787030457516微纳米制造技术广泛应用于大规模集成电路、微机械结构、微机电系统、传感器、驱动器、功能材料与涂层等，涉及电子、机械、光学、物理、化学、材料、生物等多种学科，是制造技术的融合交叉新领域。本书共分7章，...
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纳米数字集成电路的偏差效应分析与优化
靳松，韩银和著2019 年出版181 页ISBN：9787302522997本文的主要内容涉及了在纳米工艺下较为严重的晶体管老化效应-负偏置温度不稳定性（Negative bias temperature instability – NBTI）和制造过程中引起的参数偏差。介绍了参数偏差效应产生的物理机制及对电路服...
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纳米科技与微纳制造研究 技术路线图
何丹农团队编著2018 年出版155 页ISBN：9787543976092从国内外纳米科技发展现状和上海纳米科技发展必要性入手，详细解读了上海纳米科技未来发展战略，提出了上海纳米科技发展关键体系建设内容的建议，描绘了上海纳米科技发展战略实施蓝图。一方面，上海在纳米科技发展...