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新型微纳电子技术丛书 汽车微电子
靳钊，郭金刚编著2015 年出版205 页ISBN：9787560636962本书以微电子学在汽车领域的发展和应用为重点，介绍了汽车常用微电子器件（包括传感器和芯片）的结构、工作原理，同时对汽车各种电子控制系统的构成和工作原理也做了简单介绍。本书可供大专院校汽车相关专业学生以...
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微纳尺度制造工程 英文版
（美）坎贝尔著2010 年出版638 页ISBN：9787121118043本书系统地介绍了微电子制造科学原理与工程技术，覆盖了集成电路制造所涉及的所有基本单项工艺，包括光刻、等离子体和反应离子刻蚀、离子注入、扩散、氧化、蒸发、气相外延生长、溅射和化学气相淀积等。本书新...
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聚焦离子束微纳加工技术
顾文琪，马向国，李文萍著2006 年出版344 页ISBN：7563916903本书是“电子束、离子束、光子束微纳加工技术系列专著”之一。书中重点讲述聚焦离子束的系统结构，包括离子源、离子光柱体和控制系统；工作原理；关键技术；装置发展状况和应用实例，内容极具科技前沿性及前瞻性。本...
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