空间微系统与微纳卫星

本书介绍了以微纳卫星为代表的微型卫星技术的起源、历史进程、国外当前的发展状况，阐述了以清华大学为代表的我国微纳卫星技术的研究状况和发展前景。接着以清华NS-1、NS-2纳型卫星和MEMSSat皮型卫星为实例，...

微纳加工中的精密工件台技术

本书重点讲述微纳加工关键部件——精密工件台的结构、原理和主要技术，以及通过精密工件台提高加工精度和生产效率的有效方法。书中对精密测量技术、驱动技术、直线导向技术、微位移技术、精密工件台控制系统...

基于机械-化学方法的微纳制造技术

随着电子器件越来越小型化，如何方便、可控地在单晶硅表面设计和构筑具有特定功能和特性的跨尺度微纳复合结构一直是当今微纳制造领域中的热点和难点问题。本书针对该问题，提出“基于机械-化学方法的硅表面功...

微纳尺度下固液界面流动阻力影响因素的研究

本书基于固液界面上表面电荷、边界滑移、纳米气泡等影响液体流动阻力的因素，采用各种扫描探针显微镜对界面上的因素进行纳米尺度的测量，通过纳米尺度的力、变形、振动及分散度等和表征方面展开，创新性地提出了...

Micro-nano manufacturing technology of artificial bone = 人工骨微纳制造技术

流体辅助微纳抛光原理与技术

本书结合著者科研团队多年在流体辅助抛光技术领域的研究和经验，对目前应用较为广泛的流体辅助抛光方法从浅到深进行系统的介绍。不仅包括了技术的发展和加工机理，而且介绍了相关的加工系统和目前最新的工艺研...

微纳机电系统力学

本书在简述微纳机电系统技术发展的基础上，从物理基本力入手，针对微纳机电系统的力学环境，先后介绍了静电力、电磁力、范德瓦尔斯力、卡西米尔力、毛细力在微纳尺度下的作用规律。针对微纳系统结构，介绍了电容静...

超快激光微纳加工 原理、技术与应用

本书详细介绍了飞秒激光微纳加工技术所涉及的原理及相关应用，共有八个章节。第一章主要介绍飞秒激光微纳加工的原理，包括飞秒激光与物质（介质）相互作用的原理，飞秒激光在透明介质中的传输理论，飞秒激光微纳加工.....

微纳机器人操控系统及其应用 英文

该书系统地介绍微纳米机器人系统建立的科学背景与社会发展需求，结合大量具有领导性的实验结果充分展现出了微纳米机器人系统在纳米技术及生物技术应用中的潜力,充分体现了纳米机器人操作系统的研发背景和社...

微纳光纤及其在传感技术中的应用

本书就微纳光纤的光波导特性、制备方法及其在传感技术中的应用进行了总结和论述。重点阐述了微纳光纤的导光特性及其在气体传感、角速度传感、生物传感、温度传感等领域的应用。主要内容包括：微纳光纤的光学...