动态微机电系统 理论与应用

当前MEMS制造工艺技术较丰富成熟，出版的教材专著较多，然而MEMS的设计理论发展远滞后于制造技术。动态MEMS设计理论成为本专业领域技术人员和初级研究者所迫切想了解的学科前沿技术。本专著以动态MEMS设计理论...

微机电系统设计与激光

本套书内容涵盖机械常规设计、机电一体化设计与机电控制、现代设计方法及其应用等内容。具有系统全面、信息量大、内容现代、凸显创新、实用可靠、简明便查、便于携带和翻阅等特色。各分册分别为：《常用设计...

微机电系统工程基础

本书主要介绍正在快速发展的微电机系统工程基础知识，涵盖了当今高科技前沿领域的半导体超精密制作工艺、微传感器和精细微系统的机理、设计、建模、应用等。...

微机电系统集成与封装技术基础

本书主要介绍了微机电系统与填封装技术，包括微机电系统集成技术基础。

高速公路机电系统

大型机电系统故障诊断技术

微光机电系统

本书首先介绍集成电路的短暂历史和微加工的发展。然后对MEMS和微光学以及两种技术组合后的发展潜力进行回顾和评述。

微光机电系统 MOEMS

本书介绍了微光机电系统的国内外发展状况等。

公路机电系统维护技术指南

高速公路机电系统运行维护管理

本书针对高速路机电设备，包括收费系统、监控系统、通信系统、供配电系统等多个方面的专业维护，提供从计划、组织、协调、控制为一体的流程、制度规范标准。...