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微机电系统设计（MEMS）和原型设计指南
（美）库比著2014 年出版135 页ISBN：9787118096903在本书中描述和分析了大量的设计案例，涉及领域包括微观力学、电磁学、光学MEM、热学MEMS和流体MEMS等。其中有一章专门介绍MEMS器件的封装和测试；此外，在本书每章的最后，都描述了MEMS设计的实践和挑战，并提供了...
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微机电系统（MEMS）设计 建模、仿真与可视化
卢桂章，赵新著2010 年出版278 页ISBN：9787030292209本书主要内容包括：微机电系统概述，微机电系统制造技术，微机电系统设计方法，基于IP库的MEMS设计方法，微机电系统系统级建模，微机电系统器件级建模、仿真及可视化，微机电系统工艺级建模、仿真及可视化。...
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泛结构化微机电系统集成设计方法
苑伟政，常洪龙著2010 年出版218 页ISBN：9787561227589本书提出和建立了泛结构化微机电系统集成设计方法，系统性地论述了其理论体系和关键技术。本方法是在对当前微机电系统集成设计工具的体系结构、基础理论、关键技术及发展趋势等方面进行归纳和总结的基础上，提...
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微机电系统基础 原书第2版
（美）刘昶著；黄庆安译2013 年出版398 页ISBN：9787111406570本书全面论述了微机电系统（MEMS）的基础知识，涵盖了MEMS技术的主要方面，同时引用了经典的MEMS研究论文和前沿的研究论文，为学生深入学习MEMS技术提供了指引。书中提炼出了四个典型的传感器实例：惯性传感器、压力传...
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射频微机电系统的理论、设计、制备及应用
张海霞，缪雯，方东明著2014 年出版416 页ISBN：9787030389961本书系统地论述了微机电系统中射频元器件的物理模型、等效电路、性能表征和实验结果，并详细论述了射频微机电系统元器件结构设计和制备方法。本书聚集在射频微机电系统元器件的设计、加工和测试，创新内容较多...
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