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集成电路制造技术 原理与工艺
王蔚，田丽，任明远编著2010 年出版396 页ISBN：9787121117510本书主要分5个单元。第1单元介绍硅衬底，主要介绍硅单晶的结构特点，单晶硅锭的拉制及硅片（包含体硅片和外延硅片）的制造工艺及相关理论。第2～5单元介绍硅芯片制造基本单项工艺（氧化与掺杂、薄膜制备、光刻、工艺.....
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先进光学制造工程与技术原理
程灏波，（中国香港）谭汉元著2013 年出版347 页ISBN：9787564075538本书将以著作者多年工程技术积累及项目研究成果为基础，系统地阐述早期有关光学非球面元件制造技术教材或著作中略谈或由于国际及国内技术进步水平限制而未有阐述的光学非球面元件计算机控制先进制造技术。全...
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