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微电子材料与器件制备技术
王秀峰，伍媛婷编2008 年出版225 页ISBN：7122024458本书系统介绍了微电子材料与器件制备技术前沿问题与进展。主要包括材料的分类及性能、微电子器件材料的选择、不同微电子材料器件的加工工艺、微电子材料的性能测试技术等。...
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现代电子材料与元器件
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