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新型半导体薄膜材料的制备与光电特性
陈光华著2004 年出版377 页ISBN：7311023734本论文集包括了作者25年来对非晶半导体和薄膜物理方面的研究内容和方法，同时也反映出作者对这个领域的认识过程和研究思路以及取得的成果。...
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材料科学与技术丛书 第16卷 半导体工艺
（美）K.A.杰克逊（Kenneth A.Jackson）主编；屠海令，万群等译校1999 年出版627 页ISBN：703007260X暂缺《半导体工艺》简介
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国内外半导体材料标准汇编
屠海令主编；《国内外半导体材料标准汇编》编委会编2004 年出版1137 页ISBN：750663287X本书收入了半导体材料标准国内部分包括国家标准和行业标准共98项，国外标准SEMI标准86项。国内标准按基础标准、方法标准和产品标准分类，SEMI标准按原文顺序编排。...
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半导体硅材料基础 第2版
尹建华，李志伟主编2012 年出版158 页ISBN：9787122127273本书教较全面讲述了有关硅材料的基本知识。内功包括硅材料的发展史与当前市场的状况；半导体材料的基本性质、晶体结构及其结构缺陷、硅材料的加工。重点讲述了制备高纯多晶硅的三氯氢硅氢还原法等。...
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