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国内外半导体材料标准汇编
屠海令主编；《国内外半导体材料标准汇编》编委会编2004 年出版1137 页ISBN：750663287X本书收入了半导体材料标准国内部分包括国家标准和行业标准共98项，国外标准SEMI标准86项。国内标准按基础标准、方法标准和产品标准分类，SEMI标准按原文顺序编排。...
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半导体硅材料基础 第2版
尹建华，李志伟主编2012 年出版158 页ISBN：9787122127273本书教较全面讲述了有关硅材料的基本知识。内功包括硅材料的发展史与当前市场的状况；半导体材料的基本性质、晶体结构及其结构缺陷、硅材料的加工。重点讲述了制备高纯多晶硅的三氯氢硅氢还原法等。...
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