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激光等离子体极紫外光刻光源
窦银萍,宋晓伟,陶海岩著2018 年出版112 页ISBN:9787118117936本书首先介绍了用于光刻的激光等离子体极紫外光源的国内外发展现状,并系统阐述激光等离子体光源的相关理论。其次,介绍了用于6.7nm光源探测的平像场光栅光谱仪的设计、搭建及标定。重点介绍了激光参数及靶条...
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电力电子新技术系列图书 电力半导体新器件及其制造技术
王彩琳编著2015 年出版554 页ISBN:9787111475729本书介绍了电力半导体器件的结构、原理、特性、设计、制造工艺、可靠性与失效机理、应用共性技术及数值模拟方法。内容涉及功率二极管、晶闸管及其集成器件[(包括GTO晶闸管、集成门极换流晶闸管(IGCT))]、功率M...
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