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微电子机械微波通讯信号检测集成系统
廖小平等著2016 年出版294 页ISBN：9787030513304从共性的设计理论和实现方法出发，对MEMS器件及其微波功率、相位和频率检测集成器进行了设计、测试和系统级S参数模型等研究，包括：（1）MEMS热电堆、MEMS固支梁和悬臂梁、功率分配器和功率合成器、耦合器和移相器等...
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