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微电子技术工程 材料、工艺与测试
刘玉岭等编著2004 年出版649 页ISBN:7120000217本书介绍了微电子器件衬底材料性能、加工工艺与测试技术。全书共分15章,内容涉及硅单晶性质与加工技术、外延、氧化、扩散、制版、图形转移、刻蚀、多层布线、封装、键合、微机械加工及检测技术。...
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电子建设工程预算定额HYD41-2015 第5册 洁净厂房数据中心及电子环境工程
工业和信息化部电子工业标准化研究院主编2015 年出版603 页ISBN:9787518202614《电子建设工程预算定额》(共五册)经工业和信息化部以工信厅规【2015】77号文批准发布,自2015年8月1日起实施。本册定额是该套定额的第五册,包括洁净厂房、数据中心及电子环境工程的概预算定额等。本定额是编制...
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