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半导体薄膜技术与物理
叶志镇…等编著2008 年出版278 页ISBN:9787308066174本书介绍半导体薄膜的真空技术;物理气相沉积技术(PVD);化学气相沉积技术(CVD);分子束外延技术;液相外延技术等内容。
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