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半导体制造技术导论 第2版
HongXiao(萧宏)2013 年出版460 页ISBN:9787121188503本书是一本半导体工艺技术的优秀教材,并不强调很深的理论和数学知识,而是重点关注半导体关键加工技术概念的理解。全书共分15章,包括:半导体技术导论,集成电路工艺导论,半导体基础知识,晶圆制造、外延和衬底加......
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