基于脉冲激光沉积富硼B-C薄膜的关键技术研究

惯性约束聚变技术是当前研究热点，其基本原理为利用高功率激光照射装有氘氚燃料的靶丸从而引发热核爆炸。为进一步提高核聚变反应效率，必须寻求新的高增益靶丸。镀有富硼B-C薄膜靶丸即能吸收中子有效控制核聚...

类金刚石碳基薄膜材料

《纳米科学与技术》围绕国家在纳米科技领域的整体布局，紧密结合国家纳米科技重大专项为代表的国家在纳米技术领域的重大、重点项目，论述了纳米科技在纳米生物与医药、纳米结构分析测试与标准、纳米材料制备与...

氧化锌和氮化铝薄膜制备与表征实例

本书以实例的形式，介绍了用磁控溅射法制备氧化锌（ZnO）薄膜、氮化铝（AlN）薄膜和ZnO/AlN复合膜的详细工艺和性能表征。全书共分八章，主要介绍了ZnO和AlN的晶体结构、能带结构、性能与应用，ZnO和AlN薄膜的常用制备方...

功能薄膜及其沉积制备技术

本书较全面地叙述了功能薄膜及其沉积制备技术。结合功能薄膜的特点和工程应用与发展实际，概要地讲述了薄膜的含义、特征和分类，及功能薄膜设计的原则；重点讲述了气相沉积、三束材料表面改性、复合处理等先进功...

难加工材料切削加工

精密加工与特殊加工

电加工和超声加工

薄膜材料制备原理、技术及应用 第2版

本书以薄膜材料为中心，系统地介绍了薄膜技术中常用的真空技术基础知识，各种物理和化学气相沉积技术和方法，薄膜材料的形核及生长理论，薄膜材料微观结构的形成以及薄膜材料的厚度、微观结构和成分的表征方法等。...

难加工材料的加工技术

机械加工工艺手册 第3卷 第19章 难加工材料的切削加工