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碳化硅技术基本原理 生长、表征、器件和应用
(日)木本恒畅(Tsunenobu Kimoto),(美)詹姆士A.库珀(James A. Cooper)著2018 年出版500 页ISBN:9787111586807本书是一本有关碳化硅材料、器件工艺、器件和应用方面的书籍,其主题包括碳化硅的物理特性、衬底和外延生长、电学和光学性能的表征、扩展缺陷和点缺陷,器件工艺、功率整流器和开关设备的设计理念,单/双极器件的...
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