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精密超精密加工在线检测与误差分离技术
李圣怡,戴一帆,解旭辉等编著2007 年出版385 页ISBN:7810993984本书为有关精密、超精密加工在线检测与误差分离技术方面的专著,共分九章,第一章介绍自行开发的用于超精密加工在线检测与误差分离技术的位移测量仪器;第二章介绍超精密直线度测量以及误差分离技术;第三章介绍起...
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衬底基片超精密加工技术
周海编著2014 年出版175 页ISBN:9787030392817本书在介绍材料的性能和用途的基础上,分析材料的主要生长技术,重点阐述材料衬底基片的切割、磨削、研磨、抛光等超精密加工工程中的工艺、设备、辅料。介绍LED行业对衬底基片的净化要求、净化工艺、净化设备...
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航空精密超精密制造技术
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光电位移精密测量技术
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