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纳米科学与技术 微纳加工及在纳米材料与器件研究中的作用
顾长志等编著2015 年出版353 页ISBN：9787030428264《纳米科学与技术》围绕国家在纳米科技领域的整体布局，紧密结合国家纳米科技重大专项为代表的国家在纳米技术领域的重大、重点项目，论述了纳米科技在纳米生物与医药、纳米结构分析测试与标准、纳米材料制备与...
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激光加工技术及其应用
谢冀江，郭劲，刘嘉明等著2012 年出版397 页ISBN：9787030351982进入二十一世纪以来，激光加工作为现代高新技术的代表已更加凸显出其巨大的发展潜力，激光这一被誉为材料加工的“万能工具”在汽车、机械制造、冶金、微电子、航空航天等领域正发挥着越来越重要的作用。本书在...
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流体辅助微纳抛光原理与技术
程灏波著2014 年出版246 页ISBN：9787030405210本书结合著者科研团队多年在流体辅助抛光技术领域的研究和经验，对目前应用较为广泛的流体辅助抛光方法从浅到深进行系统的介绍。不仅包括了技术的发展和加工机理，而且介绍了相关的加工系统和目前最新的工艺研...
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光学投影曝光微纳加工技术
姚汉民，胡松，邢廷文著2006 年出版285 页ISBN：7563916695本书是“电子束、离子束、光子束微纳加工技术系列专著”之一。书中系列介绍主流光刻技术——光学投影光刻的工作原理、系统组成、应用实例和发展前景，特别详细介绍了投影光刻物镜、掩模硅片对准、激光定位工...
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聚焦离子束微纳加工技术
顾文琪，马向国，李文萍著2006 年出版344 页ISBN：7563916903本书是“电子束、离子束、光子束微纳加工技术系列专著”之一。书中重点讲述聚焦离子束的系统结构，包括离子源、离子光柱体和控制系统；工作原理；关键技术；装置发展状况和应用实例，内容极具科技前沿性及前瞻性。本...
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微纳加工中的精密工件台技术
刘俊标，薛虹，顾文琪著2004 年出版278 页ISBN：7563914323本书重点讲述微纳加工关键部件——精密工件台的结构、原理和主要技术，以及通过精密工件台提高加工精度和生产效率的有效方法。书中对精密测量技术、驱动技术、直线导向技术、微位移技术、精密工件台控制系统...
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电子束曝光微纳加工技术
顾文琪主编；顾文琪，王理明，薛虹，方光荣，张福安，刘祖京，黄经筒，杨忠山著2004 年出版310 页ISBN：7563913009本书作者长期从事电子束曝光技术的研究和装备的研制，积累了丰富的经验。本书系统地介绍了电子束曝光技术的发展历史和原理、系统的组成和分类、应用和发展前景，同时，详细介绍了多种先进的电子束曝光机的性能和...
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图解激光加工实用技术 加工操作要领与问题解决方案
（日）金冈优著2013 年出版198 页ISBN：9787502463649本书是作者从事激光加工技术工作20多年来的系统总结。书中对激光切割方法、工作原理做了详尽的讲解，所举事例主要是从激光加工机用户提出的问题中筛选出来的，采用分条叙述形式以求论述简明易懂，对各种方法以图...