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薄膜与涂层现代表面技术
戴达煌编著2008 年出版619 页ISBN:9787811057317本书以现代表面技术为重点,结合薄膜与涂层的特点,以工程中应用和发展为实例,简述和论述了现代表面工程的含义、分类和应用。
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半导体薄膜技术与物理
叶志镇…等编著2008 年出版278 页ISBN:9787308066174本书介绍半导体薄膜的真空技术;物理气相沉积技术(PVD);化学气相沉积技术(CVD);分子束外延技术;液相外延技术等内容。
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压电薄膜材料与器件制备技术
张涛著2012 年出版191 页ISBN:9787561234808本书主要内容分为两个部分。第一部分主要阐述与研究压电薄膜制制备技术,第二部分研究与压电薄膜直接相关的薄膜压电器件制备技术。
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半导体薄膜技术与物理 第2版
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