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生物医疗微纳电子技术
庄奕琪编著2019 年出版574 页ISBN：9787560648095本书介绍了生物医疗微纳电子科学与技术的相关知识以及近十年来的研究成果，侧重于硅基集成电路在此领域的应用于发展，内容涵盖神经传感接口芯片、神经仿生集成电路、植入式医疗器件的无线能量获取与数据传输、...
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光学投影曝光微纳加工技术
姚汉民，胡松，邢廷文著2006 年出版285 页ISBN：7563916695本书是“电子束、离子束、光子束微纳加工技术系列专著”之一。书中系列介绍主流光刻技术——光学投影光刻的工作原理、系统组成、应用实例和发展前景，特别详细介绍了投影光刻物镜、掩模硅片对准、激光定位工...
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新型微纳电子技术丛书 汽车微电子
靳钊，郭金刚编著2015 年出版205 页ISBN：9787560636962本书以微电子学在汽车领域的发展和应用为重点，介绍了汽车常用微电子器件（包括传感器和芯片）的结构、工作原理，同时对汽车各种电子控制系统的构成和工作原理也做了简单介绍。本书可供大专院校汽车相关专业学生以...
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微纳尺度制造工程 英文版
（美）坎贝尔著2010 年出版638 页ISBN：9787121118043本书系统地介绍了微电子制造科学原理与工程技术，覆盖了集成电路制造所涉及的所有基本单项工艺，包括光刻、等离子体和反应离子刻蚀、离子注入、扩散、氧化、蒸发、气相外延生长、溅射和化学气相淀积等。本书新...
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聚焦离子束微纳加工技术
顾文琪，马向国，李文萍著2006 年出版344 页ISBN：7563916903本书是“电子束、离子束、光子束微纳加工技术系列专著”之一。书中重点讲述聚焦离子束的系统结构，包括离子源、离子光柱体和控制系统；工作原理；关键技术；装置发展状况和应用实例，内容极具科技前沿性及前瞻性。本...
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