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微机电系统设计（MEMS）和原型设计指南

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（美）库比著2014 年出版135 页ISBN：9787118096903
在本书中描述和分析了大量的设计案例，涉及领域包括微观力学、电磁学、光学MEM、热学MEMS和流体MEMS等。其中有一章专门介绍MEMS器件的封装和测试；此外，在本书每章的最后，都描述了MEMS设计的实践和挑战，并提供了...
微机电系统机械学

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张向军编著2012 年出版158 页ISBN：9787302300175
本书重点揭示了微系统的表面界面效应、微纳米尺度表面力的来源与作用规律、微构件在各种微尺度表面力作用下的变形、接触与运动规律，以及微纳米间隙和管道中的流体特性、驱动原理和流动规律，并结合典型的微纳...
微机电系统原理

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（韩）李基邦（KiBangLee）著；马小军，王国胜，吕强等译2014 年出版598 页ISBN：9787118094329
本书通过统一的方法和闭合解析法解决微机电问题中的微机电系统原理。首先对宏观和微观世界的基础无量纲参数进行了量纲分析，同时还介绍了微机电系统相关的精密加工技术。此外本书还介绍了静力平衡状态下静力...
生物微机电系统

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（德）厄本（Urban，G.A.）编著2007 年出版373 页ISBN：7030188489
微系统技术领域的飞速发展为许多重点学科（从微电子到生命科学）引入了极具前景的产品，特别是生命科学和卫生保健业，一直是人们期望的微系统技术产品的主要市场。毫无疑问，生物学和微纳科学的结合将会制造一场新的...
微机电系统（MEMS）设计建模、仿真与可视化

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卢桂章，赵新著2010 年出版278 页ISBN：9787030292209
本书主要内容包括：微机电系统概述，微机电系统制造技术，微机电系统设计方法，基于IP库的MEMS设计方法，微机电系统系统级建模，微机电系统器件级建模、仿真及可视化，微机电系统工艺级建模、仿真及可视化。...
微机电系统与设计

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娄利飞编著2010 年出版204 页ISBN：9787121108082
全书共8章，第1章初识微机电系统。第2章阐述了用于传感或执行元件工作的基本机理，并介绍了一些典型的微传感器和微执行器。第3章讨论了用于微机电系统的多种材料。第4章描述了怎样制造微机电系统和器件。第5章...
射频微机电系统的理论、设计、制备及应用

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张海霞，缪雯，方东明著2014 年出版416 页ISBN：9787030389961
本书系统地论述了微机电系统中射频元器件的物理模型、等效电路、性能表征和实验结果，并详细论述了射频微机电系统元器件结构设计和制备方法。本书聚集在射频微机电系统元器件的设计、加工和测试，创新内容较多...
微机电系统（MEMS）制造技术

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苑伟政，乔大勇著2014 年出版241 页ISBN：9787030399748
微机电系统技术是一门融合了微电子技术、微机械加工技术、微光学等多种现代信息技术的新兴、交叉学科，它的发展将对21世纪的人类生产和生活方式产生重要影响，并在未来高科技竞争中起到举足轻重的作用。用于实...
现代机电一体化技术丛书微机电系统及工程应用

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莫锦秋，梁庆华，王石刚编著2015 年出版192 页ISBN：9787122238832
本书主要从普及的角度介绍了微机电系统及其相关技术的应用。全书共12章，分别对微机电系统的定义、起源及研究现状、制造技术、系统构成、设计技术进行了深入浅出、通俗易懂的介绍。本书的特点是信息量大、系...
用于恶劣环境的碳化硅微机电系统

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RebeccaCheu著2010 年出版121 页ISBN：9787030268624
碳化硅MEMS在航空、航天、矿业、石油、地质、汽车等领域都有着不可替代的作用。因为碳化硅圆片制作的复杂性，以及应用碳化硅的器件工艺难度高，而成为尖端领域。目前国外有一些研究机构积累了大量的技术和经验...