半导体器件手册 第2册 薄膜电路

压电薄膜的制备、结构与应用

本书系统地介绍了压电学的基本原理和压电薄膜的制备方法、形成过程、结构特征及其应用。

纳米粒子与纳米结构薄膜

本书描述了纳米粒子与纳米结构薄膜的制备知识、独特性强、应用前景发展趋势等。

全国固体薄膜学术会论文集

欧洲张力薄膜结构设计指南

本书介绍了欧洲三十多年以来与薄膜结构相关的大量成果。

氧化锌透明导电薄膜及其应用

本书主要介绍了新型ZnO基透明导电薄膜和低成本等。

厚薄膜混合集成电路 设计、制造和应用

半导体薄膜技术与物理

本书介绍半导体薄膜的真空技术；物理气相沉积技术（PVD）；化学气相沉积技术（CVD）；分子束外延技术；液相外延技术等内容。

第三届光学干涉薄膜专题会议文集

压电薄膜材料与器件制备技术

本书主要内容分为两个部分。第一部分主要阐述与研究压电薄膜制制备技术，第二部分研究与压电薄膜直接相关的薄膜压电器件制备技术。