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微纳米加工技术及其应用 第3版
崔铮著2013 年出版544 页ISBN：9787040369748本书集作者多年来的实践经验与研究成果，并结合近年来国际上的最新发展，综合介绍微纳米加工技术的基础，包括光学曝光技术、电子束曝光技术、聚焦离子束加工技术、扫描探针加工技术、微纳米尺度的复制技术、各种...
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