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半导体集成电路制造技术
张亚非(等)编著2006 年出版390 页ISBN:7040182998半导体集成电路发展到今天已经形成一个重大产业,本书主要讲述半导体集成电路产业的制造技术,既有基本原理和工艺技术的阐述,也有国内外近期发展状况介绍。根据半导体集成电路器件的基本原理和内部结构以及设计...
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氧化锌半导体材料掺杂技术与应用
叶志镇,吕建国,张银珠等著2009 年出版190 页ISBN:9787308066242ZnO是一种新型的Ⅱ-Ⅵ族半导体材料,具有许多优异的性能。但由于ZnO存在诸多的本征施主缺陷(如空位氧Vo和间隙锌Zni),对受主产生高度自补偿作用,天然为n型半导体,难以实现p型转变。ZnO薄膜p型掺杂的实现是ZnO基光...
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