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后摩尔时代集成电路新型互连技术
赵文生,王高峰,尹文言著2017 年出版223 页ISBN:9787030534187本书主要介绍了现代集成电路中互连线的研究现状和难题,系统讨论了为应对这些难题而提出的一些新型互连技术。本文主要讨论的新型互连技术包括碳纳米互连和硅通孔技术两种,其中前者利用碳纳米材料优良的物理特...
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