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纳米集成电路制造工艺
张汝京等编著2014 年出版433 页ISBN:9787302360278本书介绍纳米集成电路的制造工艺,共分19章。内容涉及集成电路制造工艺的方方面面,很多内容是作者在工作过程中积累整理的。对于相关领域的从业人员,有一定的参考价值。...
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