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薄膜制备技术基础 原著第4版
（日）麻莳立男著2009 年出版336 页ISBN：9787122045881本书全面介绍了与薄膜制备技术相关的各种基础知识，涉及了薄膜制备系统、典型的物理制膜与化学制膜方法，薄膜加工方法以及常用的薄膜性能表征技术等。...
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