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微传感器 原理、技术及应用
章吉良，周勇，戴旭涵等编著（上海交通大学微纳学院）2005 年出版315 页ISBN：7313042906本书为国家“十五”重点图书，微纳米科学与技术丛书之一。阐述微米纳米级及用微细加工技术制备的微执行器和传感器的原理与应用。
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