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高端集成电路制造工艺丛书 等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用
张海洋等编著2018 年出版376 页ISBN：9787302489597系统性回顾了过去半个世纪干法蚀刻技术的演变，深入介绍了该技术的基本机理，在逻辑产品和闪存产品中的具体应用以及对于逻辑电路可靠性影响的系统分析。同时针对特殊气体和特种材料的蚀刻应用进行了展望；最后以...
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大气压低温等离子体技术及应用
张秀玲，底兰波著2017 年出版216 页ISBN：9787030535900本书主要阐述等离子体的基础理论及大气压低温等离子体在低碳烷烃转化、二氧化钛光催化剂、负载型金属催化剂制备中的应用。全书分为四部分，共九章。第一部分（第1、2章）为基础部分，主要介绍等离子体基础和等离子...
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微波诱导等离子体原子光谱分析
（波）克日什托夫·J.扬科夫斯基，（波）爱德华·雷兹克著；浙江大学分析仪器研究中心译；金钦汉审订2015 年出版262 页ISBN：9787308148160微波诱导等离子体（MWP）原子光谱是近十年发展起来的一种很有前途的实验室分析工具。本书全面综合了MWP近期的发展成果，主要包括原理、仪器和微波等离子体光学发射光谱法（MWP—OES）方法论，讨论了各种MWP光源的物理...
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等离子体中的分子过程 带电粒子与分子的碰撞=MOLECULAR PROCESSSES IN PLASMAS:COLLIISIONS OF CHARGED PARTICLES WITH MOLECUL
（日）市川行和著2013 年出版194 页ISBN： -
超大功率直流等离子体弧IGBT逆变电源原理与设计
丁恩振编著2013 年出版182 页ISBN：9787564618926本书近年来，大功率直流电弧等离子体技术的研究和发展，特别备受国内外专业人员的关注。本书是作者结合多年来利用等离子体冶金技术处理危险废弃物处理的理论研究和研发大功率直流等离子体弧IGBT专用电源的实践...
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高速飞行器等离子体鞘套电磁波传播理论与通信技术
李小平，刘彦明，谢楷等著2018 年出版368 页ISBN：9787030583802高速飞行器引起等离子鞘套与其带来的”黑障”问题，是困扰航天领域几十年的难题。本书主要研究高速飞行器等离子体鞘套电磁波传播理论与通信技术，主要内容涵盖了高速飞行器等离子鞘套问题的产生、电波传播和通...
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