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3D集成手册 3D集成电路技术与应用
（美）菲利普·加罗，克里斯多夫·鲍尔，（德）彼得·兰姆著2017 年出版714 页ISBN：9787515913001本书主要主要关注“3D集成”技术和应用，将“3D集成”理解为在IC层之间通过垂直电互连对减薄和键合后硅集成电路的垂直集成。本书旨在及时、客观地向工程师和科学家们提供该领域的全貌。本书分为五个部分：第一...
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