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动态微机电系统 理论与应用
何广平,赵明,赵全亮等编著2012 年出版384 页ISBN:9787030343161当前MEMS制造工艺技术较丰富成熟,出版的教材专著较多,然而MEMS的设计理论发展远滞后于制造技术。动态MEMS设计理论成为本专业领域技术人员和初级研究者所迫切想了解的学科前沿技术。本专著以动态MEMS设计理论...
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