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精密超精密加工在线检测与误差分离技术
李圣怡,戴一帆,解旭辉等编著2007 年出版385 页ISBN:7810993984本书为有关精密、超精密加工在线检测与误差分离技术方面的专著,共分九章,第一章介绍自行开发的用于超精密加工在线检测与误差分离技术的位移测量仪器;第二章介绍超精密直线度测量以及误差分离技术;第三章介绍起...
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